Entegre Devreler:
Elektronik bir fonksiyonu yerine getirmek üzere en az biri elektriği iletme özelliğine sahip (yarı iletken materyal) birden çok katmanın meydana getirdiği devrelerdir.
Yarı iletken materyaller ise; silikon, germanium, selenium, gallium arsenid gibi elektriği iletme özelliği olan materyallerdir.
Entegre Devre Topografyaları:
Entegre devrelerde yer alan yarı iletken ve iletken olmayan katmanların ayrıntılı planlarını, üç boyutlu görünümlerinin ifade edildiği görüntüler dizisidir.